淺析硬質(zhì)涂層的發(fā)展、現(xiàn)狀及未來趨勢
行業(yè)資訊 發(fā)布人:昆山華睿達(dá) 時(shí)間:2011-8-26 16:14:11 瀏覽:
經(jīng)過數(shù)十年的發(fā)展,硬質(zhì)涂層的發(fā)展已經(jīng)上了一個(gè)新的臺階。從二十世紀(jì)七十年代化學(xué)氣相沉積(CVD)技術(shù)制備TiN開始,經(jīng)歷了物理氣相沉積技術(shù)的 出現(xiàn),TiAlN涂層的廣泛應(yīng)用,直至如今的AlTiN,CrAlN,TiAlSiN,金剛石等一系列新型涂層的誕生和應(yīng)用。硬質(zhì)涂層已經(jīng)呈獻(xiàn)百花齊放的 態(tài)勢。
硬質(zhì)涂層的市場隨著加工技術(shù)的更高要求而不斷擴(kuò)大,在好也具有越來越大的市場。硬質(zhì)涂層在工具上的應(yīng)用按照市場占有量的劃分主要為:刀具 涂層70%,模具涂層25%,零部件涂層5%。硬質(zhì)涂層技術(shù)主要有陰極電弧離子鍍技術(shù)和磁控濺射技術(shù)。目前國際上好富盛名的涂層公司主要有瑞士的 Balzers,Platit和Sulzer,德國的CemeCon和PVT,英國的Teer等公司。其中,只有CemeCon和Teer公司是采用磁控 濺射技術(shù),而其它公司都以陰極電弧離子鍍技術(shù)為主。電弧技術(shù)和磁控濺射技術(shù)的區(qū)別主要為:電弧技術(shù)可以獲得接近90%的離化率和較快的沉積速率,但存在液滴的問題;磁控濺射技術(shù)可以獲得平整的表面,但離化率和沉積速率都相對較低。
目前,兩種技術(shù)都在不斷向前發(fā)展。Balzers公司采用的是好傳統(tǒng)的小圓弧技術(shù),但是通過提高圓弧靶的直徑的方式,提高了冷卻效率,使得液滴的尺寸相對傳統(tǒng)圓弧更小。PVT公司采用的是矩形電弧技術(shù),用增大面積和加長電弧運(yùn)動軌跡的方法提高靶材的冷卻,使得液滴尺寸小于1微米。 Platit公司采用的是柱狀電弧技術(shù),在電弧工作的同時(shí),靶管旋轉(zhuǎn),使靶材獲得充分的冷卻,其宣稱的液滴尺寸為0.01微米量級。磁控濺射技術(shù)也在不斷 進(jìn)展,Teer公司提出的閉合磁場非平衡磁控濺射技術(shù)能夠大幅度提高離化率,成為磁控濺射膜層質(zhì)量提升的關(guān)鍵。隨著中頻孿生磁控技術(shù)和非平衡磁控濺射技術(shù) 的結(jié)合,磁控濺射技術(shù)已經(jīng)能夠獲得與電弧技術(shù)相當(dāng)?shù)膬?yōu)質(zhì)膜層。
2000年以后,在好許多城市都出現(xiàn)了很多國外公司的硬質(zhì)涂層加工中心。尤其以長江三 角洲居多,Balzers,CemeCon,IonBond,Hauzer等在蘇州建廠,Platit,Teer,Sulzer在上海建廠,更多廠家在常 州設(shè)有設(shè)備。同時(shí),PVT在哈爾濱和東莞,Balzers在天津、漢中、成都、株洲都開始設(shè)立加工中心。還有很多世界上二三流的公司也涌入好,在廣東, 上海,天津等地從事鍍膜服務(wù)。工具的硬質(zhì)涂層服務(wù)有地域性的限制。這通常是由于工具使用廠家比較分散,且對工具涂層時(shí)間要求常為2到3天而形成的。從國際 經(jīng)驗(yàn)看,一個(gè)涂層加工中心的有限服務(wù)范圍為200公里。
我國引入硬質(zhì)涂層技術(shù)是從上世紀(jì)八十年代開始的,當(dāng)年有工業(yè)部組織好幾家大型國有刀具生產(chǎn)廠,如哈一工,上海工具廠等,從美國 Multi-Arc公司引入的電弧技術(shù)沉積TiN涂層。后來對國外設(shè)備進(jìn)行了測繪和仿制,但是沒有形成真正的生產(chǎn)能力。好長期從事硬質(zhì)涂層生產(chǎn)的主要企 業(yè)是成都工具研究所,主要使用Balzers的CVD沉積TiN技術(shù)。進(jìn)入二十一世紀(jì)以來,好越來越多從事工具行業(yè)的專家認(rèn)識到工具涂層的重要性,也有越來越多的廠家開始大規(guī)模的使用涂層工具。近年來,好的部分高等院校、研究單位和公司投入了大量的精力從事硬質(zhì)涂層的研究和產(chǎn)業(yè)化嘗試。目前國際上流行 的TiAlN和AlTiN都開始逐步被好廠商掌握,并開始實(shí)現(xiàn)工業(yè)化。
未來隨著工業(yè)需求的不斷增加,對硬質(zhì)涂層的要求也將愈發(fā)嚴(yán)格。未來的涂層將有兩大趨勢:超硬涂層和低摩擦系數(shù)涂層。
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